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    氣體塵埃粒子計數器的校正方法

    2021-10-11 09:28:11  來源:上海
                                  氣體塵埃粒子計數器的校正方法
    本文介紹的是氣體塵埃粒子計數器的校正所需設備、基本原理已經基本步驟。
    、校正所需設備
    1、100級潔凈房或潔凈臺
    2、一臺用于作對比,尚在校正期內的塵埃粒子計數器
    3、各粒徑的標準粒子 
    4、可產生脫離水(DI水)的純水系統或類似裝置
    5、標準粒子氣體產生器
    6、其它普通電器
    、校正的基本原理
    標準粒子通過255粒子產生器由液狀霧化成氣體,并由其內置泵通過0.2um的過濾器后的干燥氣體進入取樣管路,這時,將兩臺相同塵埃粒子計數器同時或先后對取樣管進行抽樣測試,并比校0.3um粒徑的測試值。如果其平均值在20%以內,認為合格。如果不同型號的粒子計數器,一定要弄清楚其流速,取樣時間,取樣次數等參數,并且,還要明白怎樣理解其測試結果。
    .、校正的基本步驟:
    現假設對一臺常見的Royco HH200作校正
    1、首先,要清楚Royco 323HH200A有何差別,其測試原理一樣,但Royco 323流速為1CFM(立方英尺/分鐘),而Royco HH200則為0.1CFM。
    2、將潔凈臺開機,工作半小時,其間內也打開Royco 323Royco HH200,讓其預熱半小時。
    3、準備好255的取樣器管,并搭接好其所有氣體管路。
    4、將配好的標準液(如0.301um)放入脫原子瓶中,注意勿讓液體超過噴嘴。
    5、設置Royco323Royco HH200的基本參數
    1取樣時間都設置為000100
    2取樣次數都設置03
    3取樣模式都設置為Auto
    4間隔時間都設置為000005
    5讀數模式都設置為Cumulative
    注:以上設置相同,因其流速有10倍差,故Royco323測試結果會是Royco HH20010倍。
    6、打開255電源,調節脫原子氣體閥和干燥氣體閥,在調至噴嘴閥處呈氣霧出現,干燥氣體流速計約60SCFH時后,保持其工作狀態。
    7、Royco 323Royco HH200同時工作,看其三次的平均結果,若在20%以內,視為合格。
    8、拆下脫原子瓶,重新滴入其它標準粒子,重復該測試。
    9、以上校正只是對比校正,尚可用萬用表對其基本參數測量,用示波器對其信號捕捉等來輔助調校。
     
     
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